“麒麟”重生指日可待!上海微电子交付首台国产光刻机

CNMO 【原创】 作者:罗智勇 2022-02-07 16:48
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  【CNMO新闻】身为全球第二大经济体,我国通过多年的发展,在航天、高铁等许多领域都处在全球领先的行列,但是却在先进芯片制造上不得不依赖欧美国家,这主要是因为我国在光刻机方面存在着较大短板。不过今天(2月7日)却传来了一个令人振奋的消息,由上海微电子生产的我国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付给用户,这也标志着上海微电子迈出了我国在光刻机制造领域的重要一步。

上海微电子所生产的国产光刻机
上海微电子所生产的国产光刻机

  在去年9月份时,上海微电子官方宣布将推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。该光刻机可满足0.8μm(800nm)分辨率光刻工艺需求,极限分辨率可达0.6μm(600nm),通过升级运动、量测和控制系统,套刻精度提升至≤100nm,并能保持长期稳定性。

  由于美国对华为麒麟芯片的封锁,近年来国内芯片制造和封装成为了国家重点发展的领域。虽然当前我国在最顶尖的EUV光刻机的制造上仍有着不小的困难,但随着我国科研水平的不断提升,相关关键技术的突破只是时间问题。此前,全球最大的光刻机生产商ASML总裁就曾担心,一旦中国成功研发出EUV光刻机,ASML不仅仅将丢失所有中国市场,其在全球市场接近垄断的地位也将被打破。

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